目的:降低駐波效應 不足:無法消除駐波效應,影響分辨率。 過度:造成光刻膠的聚合作用,影響顯影過程,導致圖形轉(zhuǎn)移失敗。
最新試題
影響封裝芯片特性的溫度有()。
下面哪個選項不是集成電路工藝用化學氣體質(zhì)量的指標?()
下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子?()
濕氧氧化采用的氧化水溫是()。
進行溝槽填充常用的金屬材料是()。
化學機械拋光液的主要成分不包括的是哪個?()
光刻工藝的設備核心是()。
如下哪個選項不是半導體器件制備過程中的主要污染物?()
金屬化中可選用的金屬材料有()。
光刻工藝的特點包括()。