多項選擇題下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

A.Cu
B.P
C.Ag
D.Au


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1.多項選擇題鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

A.有效柵寬變窄
B.電流減少
C.電容增加
D.電阻增大

2.多項選擇題消除鳥嘴效應的方法有（）。

A.選擇合適的掩蔽膜
B.在氧化前，將窗口處的硅腐蝕掉深度，再進行局部氧化
C.退火
D.高壓氧化工藝

3.單項選擇題濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

A.95度
B.90度
C.80度
D.75度