機理：等離子體由中性原子團、游離基、分子、離子、少量高能電子組成。 優(yōu)勢：可以較低溫度下淀積薄膜，常是低溫與低壓結(jié)合
最新試題
新的平坦化方法有哪幾個？（）
厚膜電阻的成分，一是導(dǎo)體顆粒，二是（）。
如下哪個選項不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物？（）
摻雜后退火時間一般在（）。
目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）
互連工藝中AL的制備可選用（）。
CE定律發(fā)展面臨的問題包括（）。
刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。
IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是（）。
多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。
