問答題

【簡答題】淀積技術(shù)包括哪兩種？

答案： ①根據(jù)壓強(qiáng)分：常壓（AP）和低壓（LP）
②根據(jù)反應(yīng)室壁冷熱分：熱壁和冷壁
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【簡答題】為什么要采用摻氯氧化，作用如何？

答案：若在氧化中加Cl器件性能與潔凈度都會改善
作用：
A.減弱二氧化硅移動離子（主要鈉離子）玷污影響

【簡答題】比較干氧化、濕氧化和水汽氧化的特點。

答案：

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