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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述影響氧化速率的因素?
答案:
①氧化方式(干氧、濕氧或水汽氧化、等離子增強(qiáng)氧化)氣氛:摻氯氣氛增加氧化速率。
②氣壓:氧化速率與氧化劑分壓成...
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【簡(jiǎn)答題】描述熱氧化的基本機(jī)理和兩個(gè)階段。
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【簡(jiǎn)答題】二氧化硅膜的獲得方法有哪些?
答案:
A.熱氧化工藝
B.化學(xué)氣相淀積工藝
C.濺射工藝
D.陽(yáng)極氧化工藝
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