問(wèn)答題GaAs相對(duì)Si的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)是什么？
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4.單項(xiàng)選擇題
化學(xué)氣相淀積SiO2與熱生長(zhǎng)SiO2相比較，下面哪些說(shuō)法是正確的：（）。
1.熱生長(zhǎng)SiO2只能在Si襯底上生長(zhǎng)；
2.CVD SiO2可以淀積在硅襯底上，也可以淀積在金屬、陶瓷、及其它半導(dǎo)體材料上；
3.CVD SiO2，襯底硅不參加反應(yīng)；
4.CVD SiO2，溫度低。
A.1、2
B.2、4
C.1、4
D.1、2、4
E.1、2、3、4
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碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管是未來(lái)晶體管發(fā)展趨勢(shì)之一。
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題型：多項(xiàng)選擇題