填空題干法刻蝕適用于()(粗/細(xì))線條。
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1.單項(xiàng)選擇題
化學(xué)氣相淀積SiO2與熱生長SiO2相比較,下面哪些說法是正確的:()。
1.熱生長SiO2只能在Si襯底上生長;
2.CVD SiO2可以淀積在硅襯底上,也可以淀積在金屬、陶瓷、及其它半導(dǎo)體材料上;
3.CVD SiO2,襯底硅不參加反應(yīng);
4.CVD SiO2,溫度低。
A.1、2
B.2、4
C.1、4
D.1、2、4
E.1、2、3、4
3.填空題雜質(zhì)原子(或離子)在半導(dǎo)體晶片中的擴(kuò)散機(jī)構(gòu)比較復(fù)雜,但主要可分為兩種機(jī)構(gòu):替位式擴(kuò)散和()式擴(kuò)散。
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