問答題簡述硅的基本性質(zhì)？它的優(yōu)點？
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鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。
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光刻工藝對準誤差包括（）。
題型：多項選擇題
CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。
題型：多項選擇題
當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。
題型：單項選擇題
進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。
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光刻工藝的特點包括（）。
題型：多項選擇題
消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。
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下面哪道工序主要是針對晶圓切割之后在顯微鏡下進行晶圓r的外觀檢查，是否有出現(xiàn)廢品？（）
題型：單項選擇題
摻雜后，退火的目的是（）。
題型：多項選擇題
濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。
題型：單項選擇題