問答題

【簡答題】簡述在線參數(shù)測試的原因

答案：（1）鑒別工藝問題：硅片制造過程中工藝問題的早期鑒定
（2）通過/失效標(biāo)準(zhǔn)：決定硅片是否繼續(xù)后面的制造程序

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答案：

A.擴散（包括氧化、膜淀積和摻雜工藝）
B.光刻
C.刻蝕
D.薄膜
E.離子注入
F.拋光

【簡答題】簡述IC制造中一般采用的三種外延方法

答案： 1、氣相外延（VPE）：常用的硅外延方法，屬于CVD范疇
2、金屬有機CVD（MOCVD）：用來淀積化合物半導(dǎo)...