鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

化學(xué)機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

摻雜后退火時間一般在（）。

下面哪個選項不是集成電路工藝用化學(xué)氣體質(zhì)量的指標(biāo)？（）

新的平坦化方法有哪幾個？（）

芯片粘接的工藝過程包括（）。

進(jìn)行光刻工藝前的清洗步驟是（）。