下面哪些元素屬于半徑較小的雜質原子？（）

如下哪個選項不是半導體器件制備過程中的主要污染物？（）

新的平坦化方法有哪幾個？（）

互連工藝中AL的制備可選用（）。

目前制備SOI材料的主流技術有幾種？（）

光刻工藝對準誤差包括（）。

碳納米管場效應晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

厚膜電阻的成分，一是導體顆粒，二是（）。

消除鳥嘴效應的方法有（）。

CE定律發(fā)展面臨的問題包括（）。