判斷題在各向同性刻蝕時，薄膜的厚度應(yīng)該大致大于或等于所要求分辨率的三分之一。如果圖形所要求的分辨率遠(yuǎn)小于薄膜厚度，則必須采用各向異性刻蝕。
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