判斷題化學(xué)機械拋光(CMP)帶來的一個顯著的質(zhì)量問題是表面微擦痕。小而難以發(fā)現(xiàn)的微擦痕導(dǎo)致淀積的金屬中存在隱藏區(qū),可能引起同一層金屬之間的斷路。
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三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。
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光刻工藝的設(shè)備核心是()。
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CMP的設(shè)備構(gòu)成包括()。
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