單項選擇題如果淀積的膜在臺階上過度地變薄,就容易導(dǎo)致高的膜應(yīng)力、電短路或者在器件中產(chǎn)生不希望的()。
A. 誘生電荷
B. 鳥嘴效應(yīng)
C. 陷阱電荷
D. 可移動電荷
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1.多項選擇題采用二氧化硅薄膜作為柵極氧化層,是利用其具有的()
A.高電阻率;
B.高化學(xué)穩(wěn)定性;
C.低介電常數(shù);
D.高介電強度。
2.單項選擇題微電子器件對加工環(huán)境的空氣潔凈度有著嚴格的要求。我國潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度標準GB50073-2001中,100級的含義是:每立方米空氣中大于等于0.1m的懸浮粒子的最大允許個數(shù)為()
A.35;
B.100;
C.102;
D.237。
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