問答題

【簡(jiǎn)答題】MEMS工藝與微電子工藝技術(shù)有哪些區(qū)別。

答案:MEMS,即微電子機(jī)械系統(tǒng),可將機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)部件、電控系統(tǒng)集成為一個(gè)整體單元的微型系統(tǒng)。而微電子工藝是包含在...
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