亚洲视频无码在线观看,2021天天色

問答題寫出分辨率（R）公式及簡述提高分辨率的方法。

1.問答題寫出數(shù)值孔徑（NA）公式。

2.問答題簡述正膠和負(fù)膠區(qū)別。

正膠：曝光的部分易溶解，占主導(dǎo)地位；
負(fù)膠：曝光的部分不易溶解。負(fù)膠的粘附性和抗刻蝕性能好，但分辨率低。

3.問答題簡述什么是光刻膠、光刻膠的用途、光刻對(duì)光刻膠的要求。

4.問答題簡述光刻工藝的8個(gè)基本步驟。

①氣相成底膜；
②旋轉(zhuǎn)涂膠；
③軟烘；
④對(duì)準(zhǔn)和曝光；
⑤曝光后烘培（PEB）；
⑥顯影；
⑦堅(jiān)膜烘培；
⑧顯影檢查。

5.問答題簡述部分離子注入工藝的作用。