離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

（）又稱“島式加工單元”。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。