（）又稱“島式加工單元”。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

檢漏儀里標準漏孔的作用是（）。

下列各項，不屬于工業(yè)中常用的機器視覺系統(tǒng)上位機的是（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。