多項(xiàng)選擇題RF 電源適用的設(shè)備是()。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning


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2.多項(xiàng)選擇題下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有()。

A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源

3.多項(xiàng)選擇題下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是()。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列

4.多項(xiàng)選擇題EnDpointDeteCtion 方法有()。

A.原子分子發(fā)射光譜
B.吸收光譜
C.光干涉
D.目視觀察

5.多項(xiàng)選擇題檢漏儀分析管的離子源作用有()。

A.電離氣體分子
B.接受氣體離子
C.給電離子加速
D.測(cè)試氣體離子