化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結(jié)合來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

新的平坦化方法有哪幾個？（）

光刻工藝的設(shè)備核心是（）。

如下哪個選項不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物？（）