ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

RF 電源適用的設備是（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

工業(yè)機器人在裝配行業(yè)應用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。