填空題要實(shí)現(xiàn)金屬互連線與Si的良好歐姆接觸,還必須做()處理。為了避免鋁釘扎和電遷移現(xiàn)象,常用()、()合金和()替代純鋁。鋁合金化工藝的條件是:()
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當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會(huì)形成連續(xù)的非晶層,開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為()。
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碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管是未來(lái)晶體管發(fā)展趨勢(shì)之一。
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消除鳥嘴效應(yīng)的方法有()。
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