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【簡答題】簡述離子注入摻雜工藝與擴散摻雜工藝的比較
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【簡答題】簡述離子注入原理
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離子注入是將被摻雜的雜質原子或分子進行離子化,經(jīng)磁場選擇和電場加速到一定的能量,形成一定電流密度的離子束流后被直接打進(...
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【簡答題】簡述熱擴散所需經(jīng)歷的步驟
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•雜質與硅原子成鍵
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