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【簡答題】簡述熱擴(kuò)散所需經(jīng)歷的步驟
答案:
•建立濃度差
•雜質(zhì)擴(kuò)散至合適的結(jié)深
•雜質(zhì)與硅原子成鍵
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問答題
【簡答題】簡述擴(kuò)散原理及滿足條件
答案:
擴(kuò)散是物質(zhì)的一個(gè)基本性質(zhì),原子、分子和離子都會(huì)從高濃度向低濃度處進(jìn)行擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)。
擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)需滿足兩個(gè)基本條件:<...
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【簡答題】簡述摻雜工藝流程
答案:
1) 襯底清洗
2) 生長掩蔽膜
3) 對(duì)掩蔽膜進(jìn)行光刻和刻蝕
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