問答題

【簡答題】簡述熱擴(kuò)散所需經(jīng)歷的步驟

答案:

•建立濃度差
•雜質(zhì)擴(kuò)散至合適的結(jié)深
•雜質(zhì)與硅原子成鍵

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擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)需滿足兩個(gè)基本條件:<...
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答案: 1) 襯底清洗
2) 生長掩蔽膜
3) 對(duì)掩蔽膜進(jìn)行光刻和刻蝕
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