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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述光刻膠的成分特征。
答案:
光學(xué)光刻膠通常包含有三種成份:
①聚合物材料(也稱為樹脂):聚合物材料在光的輻照下不發(fā)生化學(xué)反應(yīng),其主要作用是...
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述表征光刻膠特性、性能和質(zhì)量的參數(shù)。
答案:
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問答題
【簡(jiǎn)答題】述集成電路的常規(guī)掩模版制備的工藝流程。
答案:
硅平面晶體管或集成電路掩模版的制作,一般地講,要經(jīng)過原圖繪制(包括繪總圖和刻分圖)、初縮、精縮兼分步重復(fù)、復(fù)印陰版和復(fù)印...
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