問答題

【簡答題】描述各同向性和各向異性刻蝕剖面，以及在每一種剖面中哪一種是希望的哪一種是不希望的？

答案： 各向同性的刻蝕剖面在所有方向上以相同的刻蝕速率進行刻蝕，這將帶來不希望的線寬損失。各向異性的刻蝕剖面即刻蝕只在垂直于硅片...
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答案： 金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕
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答案： 目的是為涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形。
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