問答題

【簡答題】列出并解釋硅片表面反射引起的最主要的兩個問題。

答案： 兩種主要的光反射問題是反射切口和反射駐波，在刻蝕形成的垂直側(cè)墻表面，反射光到不需要曝光的光刻膠中就會形成反射切口，光刻中...
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問答題

【簡答題】陳述分辨率公式。影響光刻分辨率的三個參數(shù)？
答案：

R.K*入/NA
1，波長 入
2，數(shù)值孔徑NA
3，工藝因子K
問答題

【簡答題】什么是數(shù)值孔徑（NA），陳述它的公式，包括近似公式？
答案： 透鏡收集衍射光的能力被稱做透鏡的數(shù)值孔徑，NA=(n)t透鏡的半徑除以透鏡的焦長。
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