單項選擇題

不論正膠或負膠,光刻過程中都包括如下步驟:
1.刻蝕
2.前烘
3..顯影
4.去膠
5.涂膠
6.曝光
7.堅膜
以下選項排列正確的是:()。

A.2561437
B.5263471
C.5263741
D.5263714。

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