名詞解釋

有限表面源擴(kuò)散

答案：

擴(kuò)散開始時，表面放入一定量的雜質(zhì)源，而在以后的擴(kuò)散過程中不再有雜質(zhì)加入，此種擴(kuò)散稱為有限源擴(kuò)散。
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名詞解釋

間隙式擴(kuò)散
答案： 間隙式擴(kuò)散指間隙式雜質(zhì)從一個間隙位置運動到相鄰的間隙位置。
名詞解釋

替位式擴(kuò)散
答案：

占據(jù)晶格位置的外來原子稱為替位雜質(zhì)。只有當(dāng)替位雜質(zhì)的近鄰晶格上出現(xiàn)空位，替位雜質(zhì)才能比較輕易地運動到近鄰空位上。
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