問答題

【簡答題】說明退火的目的和特點？

答案： ①目的：
A.修復(fù)晶格損傷
B.注入雜質(zhì)電激活：注入的雜質(zhì)多以填隙式方式存在于硅中，無電活性。退火，...
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問答題

【簡答題】簡述離子注入的原理？
答案： 離子注入是離子被強電場加速后注入靶中，離子受靶原子阻止，停留其中，經(jīng)退火后雜質(zhì)進(jìn)入替位、電離成為具有電活性的雜質(zhì)。這一過...
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