問答題

【簡答題】為什么要引入離子注入技術，離子注入技術有哪些優(yōu)勢？

答案：

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問答題

【簡答題】影響擴散速率的因素有哪些？
答案：

①晶體內雜質濃度梯度；
②環(huán)境溫度；
③雜質本身結構、性質；
④晶體襯底的結構。
問答題

【簡答題】擴散的方式有哪三種？
答案：

①填隙式擴散
②替位式擴散
③填隙-替位式擴散
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