A. 激活雜質(zhì)后 B. 一種物質(zhì)在另一種物質(zhì)中的運(yùn)動 C. 預(yù)淀積 D. 高溫多步退火
A. 有選擇地形成被刻蝕圖形的側(cè)壁形狀 B. 在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形 C. 變成刻蝕介質(zhì)以形成一個(gè)凹槽 D. 在大于3微米的情況下,混合發(fā)生化學(xué)作用與物理作用
A.增大光源波長; B.減小光源波長; C.減小光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑; D.增大光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑。