問答題

【簡答題】

識別如圖所示工藝，寫出每個步驟名稱并進行描述。

答案： 如圖所示工藝每個步驟名稱為：
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問答題

【簡答題】

如圖為鋁金屬化與銅金屬化工藝的比較。識別并描述每個工藝步驟。
答案： （a）鋁金屬化工藝下層鋁導(dǎo)線層間絕緣介質(zhì)沉積/平坦化通孔刻蝕通孔填充，形成鎢插塞上層鋁淀積上層鋁導(dǎo)線刻蝕
（b...
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