問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述IC芯片工藝過(guò)程中包括的刻蝕工藝過(guò)程

答案： （1）圖形化和整面全*區(qū)刻蝕。
（2）單晶硅刻蝕用于淺槽隔離。
（3）多晶硅刻蝕用于界定柵和局部互連...
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名詞解釋

通道效應(yīng)
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答案： 氣體系統(tǒng)、電機(jī)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、射線系統(tǒng)、電荷中性化系統(tǒng)、晶圓處理系統(tǒng)
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