名詞解釋

通道效應(yīng)

答案: 如果一個電子以正確的角度進(jìn)入通道,它只需要很少的能量就可以行進(jìn)很長的距離。
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問答題

【簡答題】簡述離子注入設(shè)備的主要組成部分

答案: 氣體系統(tǒng)、電機(jī)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、射線系統(tǒng)、電荷中性化系統(tǒng)、晶圓處理系統(tǒng)
問答題

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答案: (1)阱區(qū)注入。
(2)對重度阱區(qū)注入,抑制結(jié)擊穿效應(yīng)。
(3)調(diào)整閾值電壓。
(4)多晶...
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