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干法刻蝕適用于() (粗/細(xì))線條。
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擴(kuò)散只用于淺結(jié)的制備
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判斷題
在LPCVD中,由于hG>>kS,即質(zhì)量轉(zhuǎn)移系數(shù)遠(yuǎn)大于表面反應(yīng)速率常數(shù),所以,LPCVD系統(tǒng)中,淀積過程主要是質(zhì)量轉(zhuǎn)移控制
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