問答題

【簡答題】簡述半導體工藝中等離子體最重要的三種碰撞

答案：離子化碰撞、激發(fā)-松弛碰撞、分解碰撞

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【簡答題】等離子體工藝在半導體制造中的應用

答案：（1）IC制造中所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕。
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（3）離子注入...

離軸照明

答案：通過使用光圈將入射光以一定角度入射到光學系統(tǒng)的透鏡上，收集光刻板上光柵的一級衍射，提高分辨率。

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