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離軸照明
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通過使用光圈將入射光以一定角度入射到光學(xué)系統(tǒng)的透鏡上,收集光刻板上光柵的一級衍射,提高分辨率。
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Opc光學(xué)臨界校正
答案:
補償當(dāng)圖形尺寸和曝光光線尺寸臨近時所產(chǎn)生的衍射效應(yīng)。
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PSM移相掩膜
答案:
相移掩膜上的電介質(zhì)層在光刻版上開口部分以間隔的方式形成相移圖形,通過沒有相移涂敷開口部分的光線,會與通過有相移涂敷開口的...
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