問答題

【簡答題】解釋透鏡壓縮是怎么發(fā)生的，它產(chǎn)生了什么問題？

答案： 透鏡壓縮是透鏡材料結(jié)構(gòu)上的重新排列導(dǎo)致透鏡材料增密，壓縮發(fā)生在透鏡材料中，包括熔融石英它可以增加激光束穿過區(qū)域的透鏡材料...
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問答題

【簡答題】DUV波長曝光時使用哪種透鏡材料？
答案： 一種合適的透鏡材料是熔融石英，他是深紫外波長范圍內(nèi)的較少的光吸收，氟化鈣正在作為一種可能的候選透鏡材料。
問答題

【簡答題】典型的DUV光刻膠曝光劑量的寬容度是多少？
答案： 深紫外光刻膠的曝光寬容度是劑量變化范圍在1%左右。
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