ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

離子濺射泵的特點是什么（）？

工業(yè)以太網(wǎng)交換機與商用以太網(wǎng)交換機的區(qū)別不包括：（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

（）又稱“島式加工單元”。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？