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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述CMOS雙阱工藝,畫出標(biāo)準(zhǔn)埋層雙極工藝流程示意圖。
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【簡(jiǎn)答題】分析比較CMOS工藝中LOCOS和STI兩種隔離技術(shù)的各自特點(diǎn)。
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問答題
【簡(jiǎn)答題】在VLSI中,為什么要采用Cu互連及多層金屬化技術(shù)?
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因?yàn)镃u的互連線電阻率低,介質(zhì)層介電常數(shù)小。
多層互連對(duì)VLSI的意義:1提高集成度;2降低互連延遲3降低成本
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