問答題

【簡答題】簡述鉭在銅互連工藝中的作用

答案： ①鉭作為銅淀積前的阻擋層，可以防止銅擴散穿過氧化硅進(jìn)入硅襯底損壞元器件。
②鉭與鈦、氮化鈦阻擋層材料相比，是一...
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【簡答題】簡述雙重鑲嵌銅互連技術(shù)的幾個挑戰(zhàn)及雙鑲嵌銅互連工藝流程
答案： 挑戰(zhàn)：
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答案： 鋁金屬是一種多晶態(tài)材料，包含了許多小的單晶態(tài)晶粒。當(dāng)電流通過鋁線時，電流會持續(xù)不斷碰撞晶粒。一些較小的晶粒就開始移動，如...
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