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問答題
【簡答題】微電子器件對(duì)接觸和互連有什么要求?獲得良好歐姆接觸的方法有哪幾種?
答案:
對(duì)接觸和互連有的基本要求有:
1)能形成良好的歐姆接觸;
2)互連材料具有低的電阻率和良好的穩(wěn)定性;...
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外延
答案:
一種在單晶或多晶襯底上生長一層單晶或多晶薄膜的技術(shù)。
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名詞解釋
恒定源擴(kuò)散
答案:
在擴(kuò)散過程中,硅片表面的雜質(zhì)濃度Ns始終保持不變。例如,基區(qū)、發(fā)射區(qū)的預(yù)淀積,箱法擴(kuò)散。
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