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答案：當(dāng)金屬與半導(dǎo)體的接觸電阻小到可忽略不計(jì)時(shí)，稱為歐姆接觸。

答案： 1）優(yōu)點(diǎn)：分辨率比光學(xué)曝光高；無(wú)需光刻板；曝光自動(dòng)化，加工精度高；在真空中進(jìn)行；可直接觀察曝光的質(zhì)量。
2）缺...