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【簡(jiǎn)答題】為什么說(shuō)光刻是IC制造中最重要的工藝?光刻的三個(gè)要素是什么?
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因?yàn)楣饪淘贗C制造中
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在雙極集成電路工藝中,采用高阻的外延層可提高集電結(jié)的擊穿電壓,而其低阻的襯底(或埋層)可降低集電極的串聯(lián)電阻。在MOS集...
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