以大于或等于被考慮的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
指利用等離子體激活的化學(xué)反應(yīng)或者利用高能粒子束轟擊完成除去物質(zhì)的方法。
通過(guò)使用特定的溶液與需要被腐蝕的薄膜材料進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，進(jìn)而除去沒(méi)有被光刻膠覆蓋區(qū)域的薄膜。
