名詞解釋

干法腐蝕

答案：

指利用等離子體激活的化學(xué)反應(yīng)或者利用高能粒子束轟擊完成除去物質(zhì)的方法。
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名詞解釋

濕法腐蝕
答案：

通過使用特定的溶液與需要被腐蝕的薄膜材料進行化學(xué)反應(yīng)，進而除去沒有被光刻膠覆蓋區(qū)域的薄膜。
名詞解釋

閾值曝光量
答案：

使膠膜完全溶解所需最小的曝光量。
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