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填空題

開啟電壓（閾值電壓）的高低與柵下半導體中的（），柵氧化層的（）、（）、（）、（）等有關。載流子濃度越高，開啟電壓的絕對值（）；柵氧化層厚度越厚，開啟電壓的絕對值（）。

答案：載流子濃度；厚度；固定電荷密度；可動電荷密度；界面態(tài)密度；越高；越高

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MOS場效應晶體管的開啟電壓指的是：（）。所以，NMOS管的開啟電壓為（），PMOS管的開啟電壓為（）。

答案： MOS管柵下半導體表面開始強反型時的柵極電壓；正；負

光刻工藝的分辨率決定于：（）和曝光、顯影、刻蝕條件的正確控制。正膠的分辨率（）于負膠的分辨率；光刻膠越薄，分辨率越（）。

答案：光刻機的分辨率、光刻膠的種類、光刻膠的厚度、光刻膠的對比度；高；高