問答題

【簡答題】簡述濕法腐蝕相比干法刻蝕的優(yōu)點

答案：

（1）對材料具有高的選擇比
（2）不會對器件帶來等離子體損傷
（3）設(shè)備簡單
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硅——多晶硅柵和單晶硅槽
金...
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