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問答題
【簡答題】解釋為什么薄膜應(yīng)力與測量時薄膜的溫度有關(guān)？為什么？
答案：
薄膜中的應(yīng)力按成因劃分有本征應(yīng)力和非本征應(yīng)力。本征應(yīng)力一般來源于薄膜淀積工藝本身是非平衡過程；非本征應(yīng)力是由薄膜結(jié)構(gòu)之外...
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問答題
【簡答題】比較同等摻雜濃度多晶硅和單晶硅電阻率的大小？解釋不同的原因。
答案：
相同摻雜雜質(zhì)即使?jié)舛认嗤嗑Ч璧碾娮杪时葐尉Ч璧碾娮杪矢摺＿@是因為多晶硅石油晶粒和晶界組成，在晶粒內(nèi)部的摻雜原子和在單晶...
